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研究者として成功するためには新しい発明と併せて大いなる努力が必要KLA-Tencor Corp CTO Dr. Ben Tsai

CEOの交代のタイミングで自身も変わるべきだと感じた

聞き手:KLA-Tencor社についてお教えください。

Ben:KLA Instruments社は,1976年に設立されました。KLAとは,創設者のKen LevyとBob Andersonのイニシャルからつけたそうです。1997 年にTencor Instrumentsと一緒になり,今の会社名になりました。今の社員数は6000人位です。私が働き始めた時のKLA Instruments社は,従業員が500人位の小さな会社でした。半導体を作る時に検査(Inspection)を行う装置開発を対象としており,最初は,KLA2020と言う外観検査装置を開発していました。
 その次に光学的にCD(Critical Dimension)を計測する装置,そして重ね合わせ検査装置の開発に関わりました。それからまた欠陥検査も含めた複数の検査が可能な装置の開発を担当しました。
 カリフォルニア州のMilpitasに本社があります。重ね合わせ検査は,最初は米国で開発・製造しましたが,数年後,イスラエルに開発・製造地を移動しました。
 KLA-Tencor社の主力製品は半導体製造の検査装置ですが,検査装置以外の技術も研究対象としています。創設者の一人のKen Levyは,コビルトという,Proximity露光装置を作っていた会社で働いていた方でした。
 ですのでKLA-Tencor社でもStepperやScannerと呼ばれている半導体露光装置に大変興味を持っています。検査装置を開発することとシナジー効果があると考えられるからです。
 オランダのデルフトにあるMapper Lithographyという,複数の電子ビームを使うことでマスクを使わない描画装置メーカーや,アメリカのテキサス州オースチンにある,MII(Molecular Imprints, Inc.)と言うナノインプリント装置の会社にも出資していました。このMIIは昨年(2015),キヤノンが買収した会社です。
 複数の電子ビームを使った描画装置では,アメリカ国防高等研究計画局(DARPA:Defense Advanced Research Projects Agency)のプログラムにも参加してREBLと呼ぶ装置開発も行っていました。

聞き手:東京エレクトロン(TEL)社との関わりについてお教えください。

Ben:TELはKLA Instruments 社の日本の代理店でした。私は1987年に初めて日本に出張し,当時立川にあったTELのオフィスで佐藤さんと一緒に働きました。この時は4MbitのDRAM開発のためのウエハの外観検査装置に関して東芝のサポートをしました。その後,代理店はKLA Instruments Japanになりました。
 その後2004年から約二年間,TELで技術担当の副社長として働きました。

聞き手:TELに転職された理由をお聞かせいただけますか?

Ben:2004年の時に既にKLA-Tencor社では20年働いていました。その時もCTOでした。同じCEOの方と一緒に10年間働きましたが,この方から別の方にCEOが代わりました。CTOはCEOのスタッフですが,この変化のタイミングで私も変わるべきだと感じ,新しい人々にチャンスを与えようと考えたのです。
 ちょうどその時,前述の佐藤さんがTELのCEOになられて,「手伝ってくれないか」と,声を掛けてくださいました。TELでの技術面でのマネジメントは,とても興味があり,かつ日本で働くことはめったにないことで良い機会と考えました。
 その後2006年にKLA-Tencor社に戻りました。

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Dr.Ben Tsai( ベン・ツァイ)

Dr.Ben Tsai( ベン・ツァイ)

国立台湾大学から電気工学の学士号を受け,イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校で電気工学の修士号と博士号を取得。 1984年KLA-Tencor社の前身となるKLA Instruments社に入社。1994年CTO就任。2004年から二年間東京エレクトロンの技術担当の副社長を務め,2006年KLA-Tencor社に復帰。
●KLA-Tencor 社について
本社はアメリカ合衆国カリフォルニア州。半導体設備産業におけるリーディング・カンパニーであったKLA社とTencor社の合併により1997年5月に誕生した。以来,半導体検査・計測装置メーカーの枠を超え,ソフトウェアの開発・充実や先端企業の買収などにより,歩留まり管理=イールド・マネジメント・ソリューションの専門技術集団として,業界での地位を確立している。アメリカ,ヨーロッパ,日本及びアジア太平洋地域にサポート拠点を展開し,売り上げの15?20%をR&Dに費やす研究開発型の企業である。URL:http://www.kla-tencor.com/

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