透明膜測定，多波長ワンショット測定装置を実用化

　その後，2002年に実用化したのが透明膜計測です。表面に透明膜がある場合，表面と裏面の干渉信号が重畳し，誤差が出て，正確な表面形状測定ができませんでした。特に半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造工程で，その解決に対するニーズが大きくありました。そのために，2002年に表裏干渉ピーク2本が目で見える厚膜測定のためにKFアルゴリズム，2006年には干渉ピークが重畳して1本にしか見えない薄膜測定対応のNFアルゴリズムを開発しました。それを商品化した薄膜対応表面形状測定装置「SP-700」は世界初の実用機で，最小膜厚50nmから測ることができます。
　そして次に取り組んだのがワンショット干渉計測による高速化・耐振動性の実現です。従来の干渉計測法は測定に時間がかかる，振動に弱い，移動物体は測定できないなどの問題がありました。それを解決するために，多くの研究者がさまざまな方法に挑戦していますが，私たちが取り組んだのがワンショット法です。そこで，干渉光学系の参照面を傾け，縞画像を解析して，高さを求めるキャリア縞導入方式を使おうと考えました。しかし，高周波成分が無くなる，計算時間がかかる，測定レンジが狭いという問題点があり，それを解決するために，新しい位相計算アルゴリズム（局所モデル適合法＝LMF法）と多波長干渉法を組み合わせました。開発したLMF法で1波長ワンショット法を実験したところ，50nmの段差が1枚の画像で高速で撮像できるようになりました。測定レンジの拡大もさまざまな研究者が取り組んでいますが，私たちはワンショットで多波長画像を撮ることに挑戦しました。その結果，市販の安価なLED照明装置を使って，3波長同時撮像システムを開発することができました。
　それを使って，1μmの段差を測り，その撮像に成功したので，さらなる測定レンジ拡大のための波長の最適化に取り組みました。その中で，ハロゲン光源3台と光ファイバーを用いた3波長混合照明法を開発しましたが，さらによい方法がないかと研究した結果，1枚のマルチバンドパスフィルター（MBPF）による3波長照明系を開発し，照明輝度アップによる1000分の1秒のシャッター速度と，コストダウンを実現しました。そして，それを使った8μmの段差が測定できる3波長ワンショット測定装置「MW-500」を開発し，インクジェット方式カラーフィルター（IJCF）基板の自動膜厚測定に活用しています。本測定装置は市販の3軸直交ロボットに測定光学系を搭載したもので，特別な防振装置は要りません。

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