Photomask Japan 2022 第28回国際ホトマスクシンポジウム（PMJ2022）

概要

日時

2022年4月26日（火）～28日（木）

場所

オンライン開催

プログラム

【4月26日（火）8：00～19：00】
セッション1：オープニングセッション Day1
セッション2：EUV フロム アメリカ
セッション3：スペシャルセッション – EUVマスクブランクス –
セッション4：NIL 1
セッション5：NIL 2
セッション6：高NA露光EUV
セッション7：EUVテクノロジー
【4月27日（水）8：00～19：10】
セッション8：オープニングセッション Day2-EDA-
セッション9：カーブリニアデータハンドリング
セッション10：マスク欠陥制御および解像性
セッション11：ポスターセッション
スポンサーセッション
セッション12：EUV装置
【4月28日（木）8：00～18：20】
セッション13：オープニングセッション Day3-EUVおよび業界動向-
セッション14：検査および計測
セッション15：FPD
パネルディスカッション
セッション16：計測およびマスクプロセス補正（MPC）
セッション17：描画機

参加費

（早期申込）SPIE会員：30,000円，一般：35,000円，学生：無料

参加方法

下記URLより申し込む。