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OplusE 2020年11・12月号(第476号)

OplusE 2020年11・12月号(第476号)

特 集
ものつくりから医療まで支える光学・画像検査技術
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  • 特集のポイント
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特集

ものつくりから医療まで支える光学・画像検査技術

■検査技術はすべての基本
東京工芸大学 渋谷 眞人
■ウイルス研究に貢献する超解像顕微鏡
ニコン 池田 諭史
■コンピュテーショナルイメージングによる3次元標本の観察
オリンパス 鈴木 良政
■内視鏡動画像からの胃の3次元モデル復元
東京工業大学*,日本大学医学部**,辻仲病院柏の葉*** 紋野 雄介*,Widya, Aji Resindra*,奥富 正敏*,鈴木 翔**,後藤田 卓志**,三木 健司***
■ミリ秒時間分解能X線CTのためのマルチビーム光学系の開発
東北大学 矢代 航
■半導体量産のはじまったEUVリソグラフィーにおけるEUV検査・観察技術
兵庫県立大学 原田 哲男
■回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法
東京大学 高橋 哲
■教育文化芸術活動再開のための粒子計測技術
慶應義塾大学 奥田 知明
■内部の反射モデルと撮影方向を考慮したひびわれ幅計測
富士通*,富士通研究所**,建設技術研究所*** 野中 悠介*,瀬川 英吾**,荒川 博史*,田嶋 聡司*,石田 辰英***

連載

■【一枚の写真】サッカーにおける巧みなパスの神髄は“目のつけどころ”にある
東京成徳大学 夏原 隆之
■【oe 玉手箱のけむり】その10 眼と光
伊賀 健一
■【私の発言】技術はもっているだけでは価値はなく,競争力にしっかり結びつけないといけない
ミノル国際特許事務所 安彦 元
■【輿水先生の画像の話-魅力も宿題も-】第18回 続・画像AI 研究からいただいた諸子百家のメッセージ―研究開発の“うひ山ふみ”への着火剤―A Sequel: Messages from Hundred Schools of Thought to Image AI novice Researchers- Some Initiators for R&D “UI-YAMAFUMI” People –
YYCソリューション/中京大学 輿水 大和
■【光学ゼミナール】第18回 放射【最終回】
宇都宮大学 黒田 和男
■【レンズ光学の泉】第1章 結像の自由度 1.2.6 瞳結像の球面収差 1.2.7 物体結像と瞳結像の3次収差の関係
渋谷 眞人
■【研究室探訪】vol. 18 立命館大学 センサ知能統合研究室(下ノ村研究室)
立命館大学 センサ知能統合研究室(下ノ村研究室)
■【国立天文台最前線】第16回 単一鏡としての観測もおこなうアルマ望遠鏡
荒舩 良孝
■【ホビーハウス】空中ディスプレイと透明スクリーン
鏡 惟史
■【コンピュータイメージフロンティア】『ミッシング・リンク 英国紳士と秘密の相棒』『魔女がいっぱい』ほか
Dr.SPIDER
■【ホログラフィ・アートは世界をめぐる】第18回 台湾交流録 part4 次から次へ
石井 勢津子

コラム

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表紙写真説明

この図は極端紫外線(EUV)リソグラフィー用のフォトマスクの回路パターン観察像である。EUVリソグラフィーは2019年より半導体量産に適用が開始された。半導体の原板であるフォトマスクの検査・観察は高解像で正確なパターン形成に重要となる。図はコヒーレントなEUVを照明に用いたレンズレス顕微鏡で観察している。回折画像(強度情報)に対する反復計算によって位相情報を再生するため,通常の強度像(左図)だけでなく,位相像(右図)の観察が可能である。EUVリソグラフィーにおいても位相の利用・制御が進んでおり,EUVでの位相像観察が重要となっている。
(関連記事「半導体量産のはじまったEUVリソグラフィーにおけるEUV検査・観察技術」兵庫県立大学 原田 哲男:詳細は771ページ)

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