レーザーによる超高品質な極浅構造の作成―多層薄膜の構造化へ道―京都大学
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各種材料のレーザー加工は既に様々な用途でされているが、単一のレーザーパルス照射によりレーザー加工痕の周囲にはクレーターやリムと呼ばれる盛り上がりが発生する。これはナノ秒レーザーの場合には顕著で、ピコ秒/フェムト秒レーザーでもごくわずかに発生する。レーザーパルスの多重照射によりわずかな歪みが蓄積し、ピコ秒/フェムト秒レーザー加工であってもリム発生の問題は無視できない。また、一般的なレーザーパルスには空間的な強度分布があるため、平坦な底面を持つ微細構造をレーザー加工で作成することは容易ではない。
これら問題を解決するため、京都大学グループは、バルクの金属ではなく、バルクの金属面にごく薄い金属膜を蒸着したものをターゲットとして使用し、極薄金属膜のみをレーザーで選択的に除去することによって、超高品質な極浅構造を作成した。こうして作成した極浅構造は、多層薄膜の構造化への応用などが期待される。
