窒化ガリウムでMEMS振動子を開発～5G通信向けの高集積発振器に期待～科学技術振興機構 UPDATE：2020.12.21 (5年前) | 記事カテゴリー：ニュース 科学技術振興機構（JST）戦略的創造研究推進事業において，物質・材料研究機構の研究グループは，窒化ガリウム（GaN）の熱によるひずみを制御することで，高温でも安定に動作するMEMS振動子を開発したと発表した。 www.jst.go.jp機構報 第1474号：窒化ガリウムでＭＥＭＳ振動子を開発～５Ｇ通信向けの高集積発振...https://www.jst.go.jp/pr/info/info1474/index.htmlＪＳＴ 戦略的創造研究推進事業において、物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点のサン・リウエン 独立研究者（ＪＳＴ さきがけ研究者 兼任）は、窒化ガリウム（ＧａＮ）の熱によるひずみを制御することで、高温でも安定に動作するＭＥＭＳ振動子を開発しました。
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