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鉄スズ磁石の薄膜でフレキシブルホール素子を実現東北大学 研究グループ

 東北大学の研究グループは,鉄とスズからなる合金系磁石の薄膜を作製し,形状を変えられるフレキシブルな磁気センサー(ホール素子)として利用可能であること を実証した。
 各種エレクトロニクス分野において,磁場を電気的に検出することのできる磁気センサーの需要が高まっている。磁気センサーは,半導体ホール素子が一般的だが,近年,磁石の性質を活用するホール素子にも注目が集まっている。この新型素子は,半導体素子の弱点を補う反面,磁場を電気信号に変換する性能が低いという欠点 があった。
 同グループでは,この欠点を克服した新型素子を開発すべく,鉄スズ合金に着目して薄膜を作製した結果,広い温度・磁場範囲で優れたセンサー特性が得られること を明らかにした。この薄膜は,産業でも広く用いられている薄膜合成手法(スパッタリング法)によって容易に作製でき,さらに室温での素子作製が可能である。
 これにより,関連する金属系磁石薄膜を用いた磁気センサー開発が前進するとともに,従来の半導体素子とは異なる磁石の特性を活用した,新たな応用研究が今後加 速するものと期待される。

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