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極端紫外線レーザーにより熱影響が極めて少ない材料加工を実現産業技術総合研究所,東京大学,早稲田大学 研究グループ

 産業技術総合研究所,東京大学,早稲田大学の研究グループは,SACLA利用実験グループである量子科学技術研究開発機構と宇都宮大学の協力の下,極端紫外線フェムト秒レーザーで合成石英への極めて熱影響の少ないレーザー加工を実現したと発表した。
 より短パルス・短波長のレーザーを用いる次世代レーザー加工では,その加工メカニズムを解明することや,加工特性を把握することにより熱影響の少ない非熱的加工を実現することが重要である。今回,極端紫外線フェムト秒レーザーを用いて合成石英を加工し,加工特性として重要な有効吸収長や損傷閾値を決定するとともに加工モルフォロジーを明らかにした。ガラス材料などのレーザー加工メカニズムの解明や最適条件の探索に貢献すると期待される。

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