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鉄鋼材料や半導体の性能向上に貢献するホウ素の分析強度を3倍以上向上に成功東北大学,量子科学技術研究開発機構,(株)島津製作所,日本電子(株) 研究グループ

 東北大学,量子科学技術研究開発機構,(株)島津製作所,日本電子(株)の研究グループは,電子顕微鏡用軟X線発光分光器(SXES)を改良し,ホウ素の分析強度を3倍以上に高めることに成功したと発表した。
 ホウ素は,微量でも鉄鋼材料や半導体デバイスの性能に大きな影響を与える物質として知られている。同グループは,過去に製品化した電子顕微鏡用SXESの性能向上ニーズに応えるため,新たなSXESの試作および実証試験を行った。微量なホウ素の分析は,軽量かつ高強度な鋼板の生産や半導体デバイスの高効率化に関する研究開発に貢献することが期待される。

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