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目盛り誤差1nm以下の「超高精度なものさし」を実現産業技術総合研究所,(株)ニコン

産業技術総合研究所と(株)ニコンは共同で,リニアエンコーダー(高精度加工機械などに組み込まれる「ものさし」)の高精度化に取り組み,nm以下の誤差の目盛を実現したと発表した。産総研では,光の干渉を利用した変位計の開発により,十分な正確さ(0.1 nm以下の誤差)での長さ測定技術を既に確立しており,その技術で,ニコンが開発したリニアエンコーダーが1nm以下の目盛の誤差であると実証できると考え,共同研究を開始したところ,誤差が数10ピコメートル(pm,1nmの千分の1)以下の変位計を実現した。今後,半導体素子や光学素子の加工精度の向上へが期待される。

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