120~200 nmで一定の透過率をもつ真空紫外(VUV)領域用NDフィルターエドモンド・オプティクス・ジャパン(株)
エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)は,真空紫外(VUV)用NDフィルターを販売すると発表した。この製品は,120~200 nmのVUV領域の光を減衰するために用いられ,ライマンα線の121.6 nmや,水素分子発光帯の157.8 nmや160.8 nmを利用したアプリケーションに対応する。金属膜を誘電体保護層でオーバーコートすることで高品質フィルターコーティングを可能にし,信頼性の高い性能を実現する。
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