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最大800 μm動作の対物レンズピエゾ位置決めステージピーアイジャパン(株)

資料請求フォームへ 資料請求番号:211107 最大800 μm動作の対物レンズピエゾ位置決めステージ
 ピーアイジャパン(株)は,対物レンズピエゾ位置決めステージPIFOCシリーズに新しく「P-725.xCDE2」を追加して販売すると発表した。この製品は,従来よりも剛性や共振周波数を高めることによって,最大ストローク800 μmを実現している。精度は静電容量センサーによりナノメートル分解能で接触することなく測定でき,高解像顕微鏡,高精度検査や計測機などに適している。

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