設置面積と重量が削減されたエレクトロメカニカルチューナー(株)アムテックス
(株)アムテックスは,Focus Microwaves社のDELTAシリーズのエレクトロメカニカルチューナーを販売すると発表した。この製品は,特に高周波数のオンウェハ測定用に設計されている。また,薄型なので,ウェハの外周部に設置でき,プローブチップとチューナーを直接接続することが可能なため,DUTとチューナー間の挿入損失をすべて排除することができる。
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