高速で高精度な光学アライメントシステムピーアイ・ジャパン(株)
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ピーアイ・ジャパン(株)は,高速で高精度な光学アライメントシステムを販売すると発表した。この製品は,H-811型6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージを統合し,回転中心を最適なアライメント位置へ任意設定ができ,1秒以下でナノメートル精度の位置決めが可能である。
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