広いエリアの傷を瞬時に検出するスキャニングレーザーネオアーク(株)
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ネオアーク(株)は,傷検査用スキャニングレーザー「LaScan」を開発・販売すると発表した。この製品は,ミクロンサイズのレーザーライン(50 μm×100 μm)をスキャンさせて,広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することができる。半導体ウェハ,ハードディスク基板,およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んで使用可能である。
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