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全面一括高速測定を可能にした非接触型の波長シフト型フィゾー干渉計(株)溝尻光学工業所

資料請求フォームへ 資料請求番号:201115 全面一括高速測定を可能にした非接触型の波長シフト型フィゾー干渉計
 (株)溝尻光学工業所は,波長シフト型フィゾー干渉計「FT-300WS」を販売すると発表した。この製品は,φ300 mmサイズの大口径ガラスウエハの全面一括高速測定を可能にした非接触型の波長シフト方式フィゾー干渉計である。「表面形状」,「裏面形状」,「板厚分布」を一度に測定できるので,大幅な作業時間の短縮を実現している。

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