特定設計波長で78%以上の反射率をもつ精密紫外用ミラーエドモンド・オプティクス・ジャパン(株)
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エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)は,TECHSPEC®の「精密紫外用ミラー」を販売すると発表した。深紫外(DUV)コーティングバージョンでは,190nmから長波赤外(LWIR)までに優れた反射率があり,真空紫外(VUV)コーティングバージョンでは,120nmからLWIRまでの反射に最適化され,0°の入射角度で設計,特定設計波長で78%以上の反射率を備える。それぞれに,直径12.5nm,25nm,50nmの全6種類をラインアップしている。
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