新搭載の「MIX観察」機能で見つけにくかった欠陥を検出オリンパス(株)
※掲載1年を経過した記事につきましては,資料請求をすることはできません。
オリンパス(株)は,半導体やFPD検査用の工業顕微鏡「MX63/MX63L」を販売すると発表した。この製品は,MX63は200mm,MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応している。MXシリーズに初めて「MIX観察」対応ユニットを搭載し,これまで見つけにくかった欠陥などの検出が可能になった。また,白色LED光源の採用により,光源の明るさに左右されない安定した観察を長時間持続できる。
New Products 新着もっと見る





