オリンパス(株)は，半導体やFPD検査用の工業顕微鏡「MX63／MX63L」を販売すると発表した。この製品は，MX63は200mm，MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応している。MXシリーズに初めて「MIX観察」対応ユニットを搭載し，これまで見つけにくかった欠陥などの検出が可能になった。また，白色LED光源の採用により，光源の明るさに左右されない安定した観察を長時間持続できる。