測定面内の膜厚を高速かつ自動で測定するマッピングシステムオーテックス(株) UPDATE：2016.09.07 (2年前) | 記事カテゴリー：New Products ※掲載1年を経過した記事につきましては，資料請求をすることはできません。 オーテックス(株)は，シータメトリシス社の高速自動膜厚マッピングシステム「FR-Scanner」の販売を開始したと発表した。この製品は，白色干渉の原理を用いた非接触型の膜厚計と回転ステージやXYステージとの組み合わせにより，200mmシリコンウェハー上の薄膜の膜厚であれば，1nm以下の精度で625ポイントを60秒でマッピング測定（膜厚ムラ分布）できるとしている。 New Products 新着もっと見る 波長＆パワー調整機能が付いて使いやすいピコ秒レーザードライバー(8/15) (株)日本レーザー 短いデッドタイムでスループットを実現したマルチチャンネルTCSPC装…(8/15) (株)日本レーザー 自己消費電流を最大50％削減できるファンレス正弦波インバータ(8/10) (株)電菱 ほとんどのカメラリンクカメラに対応可能なスタンダードモデル(8/2) キヤノンITソリューションズ(株) マシンビジョン分野向けの画像処理向け小型コンピューター(7/30) (株)アバールデータ 受電デマンド，パルスや個別使用量を取り込むローコストな伝送カウンター(7/30) 豊中計装(株) 書籍案内購入はこちら コンピュータビジョン 最先端ガイド6 著者 藤代一成，高橋成雄，竹島由里子，金谷健一，日野英逸，村田 昇，岡谷貴之，斎藤真樹 価格 1,905円(税抜) Macleod：光学薄膜原論；第4版 著者 H. Angus Macleod(米アリゾナ大名誉教授・Thin Film Center Inc.代表)監訳：小倉繁太郎(神戸芸術工科大教授) 価格 10,000円(税抜) 第10・光の鉛筆 著者 鶴田 匡夫（ニコン） 価格 5,500円(税抜) Excelでできる光学設計 著者 中島 洋 価格 3,909円円(税抜) シミュレーションで見る光学現象 第2版 著者 Masud Mansuripur訳：辻内 順平 価格 6,000円(税抜) レンズ光学入門 著者 渋谷 眞人 価格 4,000円(税抜) 本誌にて好評連載中 私の発言もっと見る 2018.07.25 1つステップを超えるには大きな目標を一緒になって苦労を分かち合う仲間の存在が重要 東京工業大学 大山 永昭 一枚の写真もっと見る 2018.07.25 回折格子 東京工業大学 松谷 晃宏 研究室探訪もっと見る 2018.07.25 研究室探訪vol.4 ［東京工業大学 奥富・田中研究室］ 奥富 正敏 教授，田中 正行 特定准教授，鳥居 秋彦 助教，紋野 雄介 研究員
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