測定面内の膜厚を高速かつ自動で測定するマッピングシステムオーテックス(株) UPDATE：2016.09.07 (5年前) | 記事カテゴリー：New Products ※掲載1年を経過した記事につきましては，資料請求をすることはできません。 オーテックス(株)は，シータメトリシス社の高速自動膜厚マッピングシステム「FR-Scanner」の販売を開始したと発表した。この製品は，白色干渉の原理を用いた非接触型の膜厚計と回転ステージやXYステージとの組み合わせにより，200mmシリコンウェハー上の薄膜の膜厚であれば，1nm以下の精度で625ポイントを60秒でマッピング測定（膜厚ムラ分布）できるとしている。 New Products 新着もっと見る リアルタイム8Kストリーミング再生に対応した8K H.265プレーヤ…(4/9) アストロデザイン(株) 30.2インチの8K液晶モニター(4/9) アストロデザイン(株) クリーニング用として最適化した空冷MOPAパルスレーザー(4/8) (株)アストロン MOPAレーザーを搭載したポータブルレーザー洗浄装置(4/8) (株)アストロン セキュリティカメラにミニドームタイプとバレットタイプを追加(4/1) フリアーシステムズジャパン(株) ワクチンボトルを管理する自動管状ガラス検査システム(4/1) アイ・ディー・エス(株) 書籍案内購入はこちら 干渉計を辿る 著者 市原 裕 価格 3,000円(税抜) 光エレクトロニクスの玉手箱IV 著者 伊賀健一・波多腰玄一 価格 4,300円(税抜) 第11・光の鉛筆 著者 鶴田匡夫（ニコン） 価格 5,500円(税抜) Excelでできる光学設計 著者 中島 洋 価格 3,909円円(税抜) シミュレーションで見る光学現象 第2版 著者 Masud Mansuripur訳：辻内 順平 価格 6,000円(税抜) レンズ光学入門 著者 渋谷 眞人 価格 4,000円(税抜) 本誌にて好評連載中 私の発言もっと見る 2021.03.25 光学部の人たちが取り組んでいる課題を自分ならどうするだろうという立ち位置で考えたり議論することができたのは，結果的に「光学一筋」だったせいだと言えるかもしれません（後編） 元(株)ニコン 鶴田 匡夫 一枚の写真もっと見る 2021.03.25 従来型照明の常識を覆すV-ISA Method 可変照射立体角照明技術 マシンビジョンライティング株式会社 増村 茂樹 研究室探訪もっと見る 2021.03.25 研究室探訪vol. 20 ［徳島大学 南川研究室］ 南川 丈夫 准教授
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