測定面内の膜厚を高速かつ自動で測定するマッピングシステムオーテックス(株)
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オーテックス(株)は,シータメトリシス社の高速自動膜厚マッピングシステム「FR-Scanner」の販売を開始したと発表した。この製品は,白色干渉の原理を用いた非接触型の膜厚計と回転ステージやXYステージとの組み合わせにより,200mmシリコンウェハー上の薄膜の膜厚であれば,1nm以下の精度で625ポイントを60秒でマッピング測定(膜厚ムラ分布)できるとしている。
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