オーテックス(株)は，シータメトリシス社の高速自動膜厚マッピングシステム「FR-Scanner」の販売を開始したと発表した。この製品は，白色干渉の原理を用いた非接触型の膜厚計と回転ステージやXYステージとの組み合わせにより，200mmシリコンウェハー上の薄膜の膜厚であれば，1nm以下の精度で625ポイントを60秒でマッピング測定（膜厚ムラ分布）できるとしている。