測定面内の膜厚を高速かつ自動で測定するマッピングシステムオーテックス(株) UPDATE：2016.09.07 (3年前) | 記事カテゴリー：New Products ※掲載1年を経過した記事につきましては，資料請求をすることはできません。 オーテックス(株)は，シータメトリシス社の高速自動膜厚マッピングシステム「FR-Scanner」の販売を開始したと発表した。この製品は，白色干渉の原理を用いた非接触型の膜厚計と回転ステージやXYステージとの組み合わせにより，200mmシリコンウェハー上の薄膜の膜厚であれば，1nm以下の精度で625ポイントを60秒でマッピング測定（膜厚ムラ分布）できるとしている。 New Products 新着もっと見る 5μm帯のレーザーに対応した光スペクトラムアナライザー(1/17) 横河計測(株) 輪郭を鮮明にするバックライト蛍光シート(1/14) デルフトハイテック(株) 100 Åの面粗さにより低散乱を実現する非軸楕円面ミラー(12/23) エドモンド・オプティクス・ジャパン(株) レーザー光源から出射されるレーザー光を集光するレーザーフォーカシング…(12/23) エドモンド・オプティクス・ジャパン(株) 画像全体にわたり均一かつ高解像力なラインスキャンレンズ(12/23) エドモンド・オプティクス・ジャパン(株) 近赤外でのアプリケーション用に最適化された非球面レンズ(12/23) エドモンド・オプティクス・ジャパン(株) 書籍案内購入はこちら コンピュータビジョン 最先端ガイド6 著者 藤代一成，高橋成雄，竹島由里子，金谷健一，日野英逸，村田 昇，岡谷貴之，斎藤真樹 価格 1,905円(税抜) Macleod：光学薄膜原論；第4版 著者 H. Angus Macleod(米アリゾナ大名誉教授・Thin Film Center Inc.代表)監訳：小倉繁太郎(神戸芸術工科大教授) 価格 10,000円(税抜) 第10・光の鉛筆 著者 鶴田 匡夫（ニコン） 価格 5,500円(税抜) Excelでできる光学設計 著者 中島 洋 価格 3,909円円(税抜) シミュレーションで見る光学現象 第2版 著者 Masud Mansuripur訳：辻内 順平 価格 6,000円(税抜) レンズ光学入門 著者 渋谷 眞人 価格 4,000円(税抜) 本誌にて好評連載中 私の発言もっと見る 2019.11.25 制約のないものはない。 制約を楽しむ気持ちを持ち，最適化を求め過ぎず，スピードを大切にして欲しい 東京大学大学院 廣瀬 通孝 一枚の写真もっと見る 2019.11.25 細胞と組織を水環境のままで観察できる電子顕微鏡ASEM 産業技術総合研究所 佐藤 主税 研究室探訪もっと見る 2019.11.25 研究室探訪vol. 12［東京電機大学 知能機械システム研究室（中村研究室）］ 中村 明生 教授
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