最短で122nmまでの中心波長を提供エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)
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エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)は,深紫外用バンドパスフィルターの発売を開始した。この製品は,中心波長がそれぞれ122nm,193nm,248nm,308nm,直径がそれぞれ12.5mm,25mm,50mmの12種類をラインアップしている。識別とシステムインテグレーションを容易にし,損傷や光学面の摩擦を防ぐため,アルミ製リングが付加されている。
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