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高精度な微細加工に適したフェムト秒レーザーコヒレント・ジャパン(株)

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高精度な微細加工に適したフェムト秒レーザー
コヒレント・ジャパン(株)は,フェムト秒レーザー「RAPID FX」の発売を発表した。この製品は,繰返周波数100kHzにおいて(オプションで200kHzまで可能),パルス幅900fs,パルスエネルギー最大100μJを提供する。また,高いビームクオリティ(M2<1.4),パルスオンデマンド機能に加え,高エネルギーのフェムト秒極短パルスにより,加工スピードを犠牲にすることなく,ほとんど熱影響のない,ミクロン単位の精密な加工を実現する。

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