3軸仕様タイプを追加した「3D-Eyeスキャナー」オプテックス・エフエー(株)
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オプテックス・エフエー(株)は,JFASブランドの「3D-Eyeスキャナー」シリーズの3軸(X×Y×Z)仕様タイプの販売を開始した。この製品は,3次元形状測定を行うための簡易型卓上検査装置である。3Dカメラとレーザー光源により,対象物の表面形状を高精度に計測・検査でき,表面の欠陥を定量化した数値で判定できる。従来機の1軸(X)仕様,2軸(X×Y)仕様に加えて,このたびZ軸の自動スキャンを実現し,従来1スキャンで0.5mmしか高さを測定できなかったところ,70倍となる35mmの段差を測定できるようになった。高分解能タイプなら高さ分解能が0.42μmで,数μmレベルでの高さ判別も可能となる。
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