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高スループットのレーザー材料加工が可能な高速ラインスキャンエンジン(株)日本レーザー

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高スループットのレーザー材料加工が可能な高速ラインスキャンエンジン
(株)日本レーザーは,蘭Next Scan Technology社の高速ラインスキャンエンジンの販売を開始した。 この製品は,高速のビーム偏向制御を特長としており,毎秒100~400ラインのポリゴンスキャナが可能。特許出願中の一方向ラージエリアf-θ光学系は,完全にテレセントリックな直線性の高いシステムで,誤差補正なしでも5μmの高い精度となっている。また独自のSuperSyncコントローラーが,レーザービームの位置制御,ポリゴンミラーの回転・レーザーパルス・対象材料の位置合わせについて各タイミングを微細に同期し,高いスポット位置精度でスキャンを高速化でき,高いスループットを実現している。システム統合可能なレーザーの最小パルス幅は7psで,一般的な加工用レーザーから超短パルスレーザーまで広くサポートしている。

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