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高精細微細加工に適した産業用高繰返しピコ秒レーザースペクトラ・フィジックス(株)

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高精細微細加工に適した産業用高繰返しピコ秒レーザー
スペクトラ・フィジックス(株)は,産業用高精細加工向け高繰返しピコ秒レーザー「Spirit ps 1040-10」を発表した。このピコ秒レーザーは,優れたビーム品質(M2<1.2)で,安定性(<1%rms,100時間以上),短パルス幅(13psec)により,産業用高精細微細加工に適しているとする。 また,繰返し周波数のシングルショットから1MHzまでのユーザー設定による可変機能,内蔵パルスピッカーによるパルス選択や出力調整を迅速に行う機能など,柔軟性に優れた設計となっている。10W以上の平均出力の半導体関連各種微細加工,LED製造,フラットパネルディスプレイ加工,薄膜アブレーションなどの高精細ピコ秒微細加工に向いている。

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