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ベンチトップ型システムの非接触3次元光学顕微鏡ブルカー・エイエックス(株)

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ベンチトップ型システムの非接触3次元光学顕微鏡
ブルカー・エイエックス(株)は,Bruker社製の非接触3次元光学顕微鏡「ContourGT-K」を発売した。 同顕微鏡は,高輝度2色LEDイルミネーション(特許取得済)と光干渉技術の採用により,非接触で3次元の表面形状・粗さを計測する。また,1~100倍の視野範囲において,一貫したZ軸方向の高解像度を実現し,広範囲な表面を非接触により,形状・うねり・粗さ・厚み測定結果の2D/3Dイメージング出力を可能としている。

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