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高出力8Wで微細加工に最適な高繰返しフェムト秒レーザースペクトラ・フィジックス(株)

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高出力8Wで微細加工に最適な高繰返しフェムト秒レーザー
スペクトラ・フィジックス(株)は,従来品よりさらに高出力を実現した8W高繰返しフェムト秒レーザー「Spirit」を発表した。400fsの短パルスは,より高速でフレキシブルな操作性や熱影響最少化の要求に応える産業用微細加工用途として理想的なフェムト秒レーザーである。 Spiritは,40μJ以上の高パルスエネルギー,およびコンピューター制御によるシングルショットから1MHzまでの広範囲での繰返し周波数可変が可能で,時間分解分光などの理科学研究分野はもとより,医療用材料やナノ構造材料などの超精密加工,高精細有機ELなどのフラットパネルディスプレイや半導体製造用途に適しているとする。

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