高精密・高スループット加工を実現する産業用UVファイバーレーザーコヒレント・ジャパン(株)
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コヒレント・ジャパン(株)は,米Coherent社がリリースしたUVファイバーレーザー「Daytona 355-20」の取り扱いを開始する。この新製品は,短パルスレーザーによる精密な加工とQスイッチ固体レーザーによる高スループット化の特長を併せ持つ。
UV波長(355nm)発振において,平均出力20Wを繰返周波数1MHz,パルス幅1nsで,精密微細加工に最適なTEM00(M2<1.3)のビーム質を実現している。ウエハーのダイシングやスクライビングなどの高精密微細加工に適しているとする。
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