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低価格・卓上タイプのエキシマ光照射器を発売ウシオ電機(株)

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低価格・卓上タイプのエキシマ光照射器を発売
ウシオ電機(株)は,A5サイズのコンパクトな簡易実験用エキシマ光照射器「Min-Excimer」の販売を開始した。 同照射器は,フラットパネルディスプレイの光洗浄やプラスチックの表面改質などの製造プロセスで使用のエキシマ光を採用するため,世界初の“エキシマランプ”を製品化し,それをベースにN2(窒素)ユーティリティを不要とするシンプル構造により実現した。従来,設置スペースや導入コストなどの面でエキシマ光実験を控えていた大学や企業,研究機関に向けて販売していく。

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