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モリテックス,MEMS製造など向け赤外線透過検査システムの改良版をリリース(株)モリテックス

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モリテックス,MEMS製造など向け赤外線透過検査システムの改良版をリリース
(株)モリテックスはこの8月から,MEMSや半導体製造ライン向け赤外線透過検査システム「IRise」の改良型の販売を開始した。今回の製品は,ステージ速度の向上やソフトウエアのリニューアルによって,SiウェハーやMEMSデバイスの検査スループットを従来機の2.6倍に向上させた。また,オプション機能として自動外観検査機能(CtoC:カセット to カセット対応)を追加した。具体的な用途は,気密封止接合界面の評価・検査や3次元実装の評価・検査,Low-k膜のグルービング後評価など。

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