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各種DPSSレーザーの搭載が可能な微細加工装置を発売(株)日本レーザー

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各種DPSSレーザーの搭載が可能な微細加工装置を発売
(株)日本レーザーは,英Oxford Lasers社のレーザー微細加工装置「ALPHAシリーズ」の販売を,この6月から開始する。同製品は,各種半導体励起固体(DPSS)レーザーの搭載が可能で,金属薄膜やセラミック系材料,高分子材料などのミリングやエッチング,スクライビング,穴空け等を行う微細加工装置である。価格は約2600万円。初年度は国内で5台の受注を計画している。位置決め操作や加工条件設定を容易に行うためのオプションとして,オートフォーカス機能や同軸観察光学系,専用ソフトウエアなどが用意されている。専用ソフトウエアを使えば,CADファイルによる加工プログラム作成にも対応できる。また,ピコ秒やフェムト秒の超短パルスレーザーを用いることで,非熱加工アプリケーションにも対応可能となる。

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