出展社NEWS

広視野で解像度の高いレーザ走査イメージャ(株)オプセル

(LSM-5000シリーズについて)
広視野共焦点レーザ走査イメージャの走査レンズの解像度をUPしています。
2.6mm走査レンズはNA0.8に、4mm走査レンズはNA0.55に改良しました。これにより、半導体チップの検査が0.1μmレベルになり、2.6mm×200mmの領域をシームレスに走査して、寸法計測、高さ計測、欠陥検査等が可能になりました。

(LSM-3500シリーズについて)
光切断方式の3D検査装置+レーザ走査型のレーザライン発生装置により、レーザライン幅が数μmレベルになり、強い光量でレーザラインが一定になりました。この装置は、フィルムやアルミ板などの、3D欠陥をきれいな画像が簡単に、高速に撮れるようになりました。

出展社情報

(株)オプセル
TEL:048-788-4307 FAX:048-788-4308
住所:〒331-0814 埼玉県さいたま市北区東大成町2-263-4 北原ビル4階B号室
URL:https://www.opcell.co.jp/

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