 株式会社オプセル | 【ブースNo.41】 |
レーザ走査イメージャはラスター走査型共焦点観察装置で
幅広の縦長（例えば4×200ｍｍ）のシームレス画像可能
半導体チップの精密（0.1μｍ）な寸法、欠陥高速検査も可能
レーザ走査イメージャで撮った画像例
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