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EUV光源で出力108W,24時間の安定発光に成功

 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株)の研究グループは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロ …