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光エレクトロニクスの玉手箱 2017年5月号-補足

図3 フーコー法の原理


図4 非点収差法の原理


図5 非点収差回折格子レンズ (a) 2値(バイナリー)型 (b) ブレーズ型

G. Hatakoshi and K. Goto: Appl. Opt., Vol. 24, 4307 (1985); 井出和彦,波多腰玄一: “焦点検出用グレ-ティングレンズの試作・実験”, 昭59春応用物理学会, 30a-K-1 (1984)


図6 δzを変化させた場合の,回折光ビームパターンの観測結果

(第27章の図13再掲)


G. Hatakoshi and K. Goto: Appl. Opt., Vol. 24, 4307 (1985)


図7 スポットサイズ法の原理


図8 3ビーム法における主ビームスポットと副ビームスポット


図9 位相差法の原理

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