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電子デバイスの表面形状などを3D測定する工業用顕微鏡オリンパス(株)

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電子デバイスの表面形状などを3D測定する工業用顕微鏡
オリンパス(株)は,3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS4100」とナノサーチ顕微鏡「LEXT OLS4500」を発売する。「LEXT OLS4100」は,対象物をレーザーでスキャンすることで電子デバイスなどの複雑な表面形状に接触せずに3D測定する。 従来機よりさらに広い領域での高解像観察と高精度測定が可能となり,ワンクリックで自動的に3D画像を取得する機能や画像取得速度が約2倍になるなど操作性能が向上している。また,「LEXT OLS4500」は(株)島津製作所と共同開発したもので,レーザー顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡を組み合わせた複合顕微鏡で,1台で数十倍?百万倍以上の広範囲な倍率で観察・測定することができる。

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