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ME応用向け33W高平均出力全固体パルスUVレーザーコヒレント・ジャパン(株)

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ME応用向け33W高平均出力全固体パルスUVレーザー
コヒレント・ジャパン(株)は,米Coherent社がリリースした微細加工用パルスUVレーザー「AVIA 355-33」の取り扱いを開始する。 AVIA 355-33は,マイクロエレクトロニクス製造の24時間/週7日稼働用途向けのレーザー「AVIAシリーズ」に,平均出力33Wの高出力モデル(波長:355nm,@繰返周波数110kHz)としてラインアップされたもの。プリント基板やフリップチップのビアドリリング,Low-k材料を含むシリコンウエハーのダイシングおよびスクライビングなど,高生産性や高い歩留まりが要求されるME応用のニーズに幅広く対応し,製造効率の向上と部品当たりのコストの低減を可能とする。

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