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従来比1.5倍の高速スキャン 超音波顕微鏡を発売開始(株)日本レーザー

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従来比1.5倍の高速スキャン 超音波顕微鏡を発売開始
(株)日本レーザーは,独KSI社(旧SAMTEC社)の超音波顕微鏡(超音波映像装置)「Vシリーズ」の機種を9月1日から拡充した。 Vシリーズは,頑丈・安定・ハイエンドというSAMTEC時代の装置コンセプトはそのままに,より高いレベルを目指して開発された装置で,半導体ウエハー,LEDに特化したインラインモデルもラインアップしている。本装置は,従来機の約1.5倍の高速スキャン機構を備え,高SNでの撮像を実現した新デザインプローブおよび新型アンプも採用。さらに,ソフトウエアも使いやすくなり,オプションとしてマルチプローブシステムも準備されている。応用分野は,半導体における接合ウエハー,半導体チップ,LED,半導体パッケージなどがあり,適用材料としてはセラミック,金属,プラスチックなどとする。

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