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ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計(株)マグネスケール

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ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計
(株)マグネスケールは2月21日,ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計を開発したと発表した。販売開始時期は8月末を予定している。同変位計は,同社の高精度スケールである「レーザスケール」と同じ格子干渉計タイプで,検出信号波長は138nm,作動距離3mm,測定距離±1mmの範囲を8.4pm(ピコメートル)の分解能で測定できる。同社が開発済みの2次元レーザースケールと合わせて同製品を使用すると,半導体製造装置向けの高精度ステージなどで3次元計測が可能となる。また,半導体ウエハーの平面度計測や光学部品等の形状測定などにも使用できる。価格は標準仕様で30万円,高精度仕様で60万円となる。初年度の生産予定数は500個である。

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