【重要】O plus E 本誌価格改定のお知らせ

EUV光源で出力108W,24時間の安定発光に成功国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株) 研究グループ

 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株)の研究グループは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機を開発し,エネルギー安定性平均0.5%以下で,ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を,24時間連続運転で成功したと発表した。
 今回,このLPP光源のプロトタイプ機で開発を続けてきた,20μm以下の微小ドロップレットの供給技術,短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ,磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ,さらにエネルギー制御技術の改善により,量産工場での使用を模擬した運転パターンで,エネルギー安定性平均0 .5%以下で,108W,24時間の連続稼働を達成した。108Wという出力はロジック生産適用可能レベルでもある。
 今後,2015年中に高出力検証機を稼働させ,メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指すとしている。

ニュース 新着もっと見る

書籍案内購入はこちら

コンピュータビジョン 最先端ガイド6

著者
藤代一成,高橋成雄,竹島由里子,金谷健一,日野英逸,村田 昇,岡谷貴之,斎藤真樹
価格
1,905円(税抜)

Macleod:光学薄膜原論;第4版

著者
H. Angus Macleod(米アリゾナ大名誉教授・Thin Film Center Inc.代表)
監訳:小倉繁太郎(神戸芸術工科大教授)
価格
10,000円(税抜)

第10・光の鉛筆

著者
鶴田 匡夫(ニコン)
価格
5,500円(税抜)

マシンビジョンライティング 実践編 第1刷

著者
増村 茂樹
価格
4,800円(税抜)

シミュレーションで見る光学現象 第2版

著者
Masud Mansuripur
訳:辻内 順平
価格
6,000円(税抜)

レンズ光学入門

著者
渋谷 眞人
価格
4,000円(税抜)

本誌にて好評連載中

私の発言もっと見る

一枚の写真もっと見る