EUV光源で出力108W,24時間の安定発光に成功国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株) 研究グループ

 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株)の研究グループは,現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機を開発し,エネルギー安定性平均0.5%以下で,ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を,24時間連続運転で成功したと発表した。
 今回,このLPP光源のプロトタイプ機で開発を続けてきた,20μm以下の微小ドロップレットの供給技術,短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ,磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ,さらにエネルギー制御技術の改善により,量産工場での使用を模擬した運転パターンで,エネルギー安定性平均0 .5%以下で,108W,24時間の連続稼働を達成した。108Wという出力はロジック生産適用可能レベルでもある。
 今後,2015年中に高出力検証機を稼働させ,メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指すとしている。

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