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OplusE 2012年7月号(第392号)

OplusE 2012年7月号(第392号)

特 集
最新の研磨加工と計測技術
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特集

最新の研磨加工と計測技術

■総論
O plus E 編集部
■半導体デバイスプロセスにおける超精密CMP技術の動向
九州大学*,宮崎大学**,金沢工業大学***,土肥 俊郎*,大西 修**,黒河 周平*,畝田 道雄***,山崎 努*
■光を用いた最新の超精密研磨と計測事例
クリスタル光学 桐野 宙治
■砥粒の滞留性を考慮した次世代研磨技術
立命館大学 谷 泰弘
■特殊ガラスと大型望遠鏡技術
オハラ 南川 弘行
■重力波観測用レーザー干渉計における光学設計
カリフォルニア工科大学 山本 博章
■EUV用高精度非球面計測技術
ニコン 玄間 隆志

連載

■【一枚の写真】超高分解能光断層計測を活用し,タンパク質結晶の3次元・非破壊断層イメージングに成功
名古屋大学*,大阪大学**,西澤 典彦*,石田 周太郎*,松村 浩由**,廣瀬 未果**,杉山 成**,森 勇介**,井上 豪**,伊東 一良**
■【私の発言】ターゲット・オリエンテッドな技術的展開が次世代へ向けたものづくりの価値を構築する
埼玉大学研究開発機構オープンイノベションセンター客員教授 山本 碩?
■【第10・光の鉛筆】7 回折とエバネセント波
鶴田 匡夫
■【波動光学の風景】第84回 86. 結合波
東芝 本宮 佳典
■【コンピュータイメージフロンティア VFX 映画時評】
Dr.SPIDER
■【研究所シリーズ】高輝度光科学研究センター 非晶質材料の機能発現を担う『乱れた構造』の可視化
利用研究促進部門 構造物性?グループ 小原 真司,尾原 幸治
■【ホビーハウス】ジャバラ絵本と立版古(たてばんこ)
映像技術史研究家 鏡 惟史

コラム

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■オフサイド
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